Stationäre Pyrolyseeinheit GD-81D Serie: PLU-80

Diese Pyrolysevorrichtung kann in Kombination mit der GD-81D-Serie zum Nachweis von Gasen wie NF₃ und TEOS verwendet werden. Sie hat die gleiche Größe wie das Vorgängermodell PLU-70, sodass keine Bedenken hinsichtlich des Platzbedarfs bestehen.

Eigenschaften:

Probenahmemethode: Pumpenbetrieb
Funktionsprinzip: Elektrochemische Methode, Pyrolysis-Particle Messprinzip
Explosionsschutzkonstruktion: Nicht explosionsgeschützt
CE-Kennzeichnung: EMV/RoHS
Energieversorgung: 24 VDC±10 %
Abmessungen: Ca. 70 (B) x 120 (H) x 145 (T) mm
Gewicht: Ca. 0,9 kg
Betriebstemperaturbereich: 0°C bis 40°C (keine plötzlichen Änderungen)
Betriebsfeuchtigkeitsbereich: 30 bis 80 %RH (keine Kondensation)
Zielgase: COS, DEMS, DMDMOS, HMDS, HMDSO, NF3, OMCTS, QMS, SiO2, SO2, TEB, TEOP, TEOS, TMB, TMOP, TMP, TMS, TRIMOS, TRIMS